排気速度とは、真空ポンプが1秒間（または1分間、1時間）にどれだけの体積の気体を吸い込めるかを表す値で、単位はL/s（リットル毎秒）やm³/hで表します。ポンプの入り口の圧力をp、ポンプが流している気体の量（流量）をQとすると、S＝Q/pの関係があります。真空ポンプの大きさや能力を比べるときの基本の数値です。
実際にチャンバーを引く速さ（実効排気速度）は、ポンプ自体の排気速度だけでなく、間をつなぐ配管の流れやすさ（コンダクタンスC）にも左右され、1/S実効＝1/Sポンプ＋1/Cで求められます。配管のコンダクタンスが小さいと、どんなに大きなポンプをつないでも、実効排気速度は配管のコンダクタンス以上にはなりません。高真空の分子流の領域では特にこの影響が大きく、ポンプはチャンバーの近くに太い口で取り付けます。
排気速度は気体の種類や圧力によっても変わります。ターボ分子ポンプは軽い水素やヘリウムの排気速度が小さく、クライオポンプは水蒸気を非常に速く排気できます。また、ポンプの排気速度とチャンバーに入ってくる気体の量（ガスの導入、壁からの放出、リーク）のつり合いで、到達できる圧力が決まります。プロセスでガスを流しながら一定の圧力を保つ装置では、必要な流量と圧力から、必要な排気速度を見積もります。
