埃米世代(Angstrom Era)是指半導體製程節點的命名從「奈米(nm)」單位轉向「埃(Å,1Å=0.1nm)」單位之時代的業界用語。英特爾在2021年發表的藍圖中採用了「Intel 20A(相當於2.0nm)」「Intel 18A(相當於1.8nm)」「Intel 14A(相當於1.4nm)」的命名,使此用語廣為人知。
Intel 18A是該公司重要的技術里程碑,作為全球首度同時結合RibbonFET(英特爾對GAA型奈米片電晶體的稱呼)與PowerVia(背面供電網路=BSPDN)的製程而備受關注。2024年下半年完成設計定案(tape-out),原本以2025年量產為目標。高通(Qualcomm)與微軟(Microsoft)已表態成為早期採用客戶。
台積電與三星也各自擁有次2nm世代的藍圖。台積電計畫在N2(2025年)之後推出N2P及更先進的A16(相當於1.6nm),並在A16導入稱為Super Power Rail(SPR)的背面供電。三星也在開發繼2nm(SF2)之後的1.4nm(SF1.4)節點。各家命名規則雖不同,但都是埃米世代的一環。
埃米世代製造上最大的課題是圖案化技術。全面導入High-NA EUV(數值孔徑0.55)、多重圖案化的進一步精進,以及抑制邊緣放置誤差(EPE)都不可或缺。此外,電晶體的三維化(CFET、叉型片等)與氣隙介電層的採用等結構創新也同步進行。
轉向埃米世代將為半導體設備與材料產業帶來龐大的投資機會。High-NA EUV設備(每1台約3~4億美元規模)、原子層沉積(ALD)與原子層蝕刻(ALE)設備,以及高階量測設備的需求預期將急速擴大,成為艾司摩爾(ASML)、應用材料、科林研發、東京威力科創、科磊(KLA)等主要設備廠商營收成長的原動力。