CoPoS(Chip on Panel on Substrate)是台積電正在開發的先進封裝技術,把 AI 用 GPU 等產品使用的 CoWoS(Chip on Wafer on Substrate),改在方形面板上製作,而不是圓形晶圓。CoWoS 是在直徑300mm 的矽晶圓上製作大型中介層(連接晶片與晶片的中間基板),再把邏輯晶片與 HBM 排列在上面。CoPoS 則是把這道工序改在大型方形面板上進行。
背景是 AI 晶片的大型化與 CoWoS 的供給不足。AI 用 GPU 要並排多顆邏輯晶片與 HBM,中介層逐年變大,1片晶圓能切出的數量越來越少。從圓形晶圓切出方形中介層,周邊會留下大片無法使用的區域。方形面板可以一路用到邊緣,大幅增加每片能切出的數量,因此被期待能提高產能並降低成本。
課題包括:必須重新備齊對應面板尺寸的曝光、成膜與檢測設備及材料;要抑制大面板的翹曲(warpage);以及要在整片面板上均勻製作微細線路。根據報導,台積電的目標是在2020年代後半量產。面板材料方面,未來也在考慮使用玻璃基板,在面板級封裝(PLP・FOPLP)的趨勢中同樣受到關注。