共晶接合(Eutectic Bonding)是利用2種金屬以特定組成比組合時,會在低於各自熔點的溫度(共晶點)液化的現象,將晶粒與基板或晶圓彼此進行金屬接合的技術。代表性組合有金-矽(AuSi,共晶點約363℃)與金-錫(AuSn,共晶點約280℃)。
與樹脂系黏晶材料相比,共晶接合的導熱性與導電性優異,且可得到高氣密性的接合,因此用於要求高散熱性與可靠度的功率元件、RF元件、MEMS、光元件(雷射二極體等)的黏晶。特別是在需要氣密封裝(hermetic seal)的感測器與光元件封裝中,共晶接合是標準手法。
接合時需要均勻的加熱與加壓控制,以及防止金屬表面氧化(在惰性氣氛中處理),有時會在黏晶機中加裝專用的共晶接合平台或超音波振動輔助機構,以提升接合品質。由於成本高於樹脂系接合材料,量產性也稍差,因此會選擇性地用於以高可靠度、高散熱性為優先的用途。