XP8 DCM PEALD的特點與規格

XP8 DCM 是 ASM 的高產能 300mm 電漿 ALD（PEALD）設備。最多可搭載 4 個雙腔模組（DCM），以 8 個反應腔在小佔地面積下進行量產。

支援包含多重圖案化用低溫間隔層在內的多種介電膜 PEALD。

以獨立的反應腔發揮最佳性能，並以小容積反應腔有效利用氣體、加快處理速度。反應腔間與腔體間的匹配性良好，晶圓間的再現性優異。用於襯墊層（liner）與間隔層（spacer）、以間隔層進行的多重圖案化、閘極氧化膜，以及接觸窗襯墊層與間隙填充（gap fill）。