最後更新:2026年10月23日擴散爐

A400 DUO的特點與規格

ASM International・擴散爐

適用於 200mm 以下晶圓的批次式立式爐。以 2 個反應爐進行功率・類比・RF・MEMS 的擴散・退火・LPCVD。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

A400 DUO 是 ASM 針對 200mm 以下晶圓的批次式立式爐。主要鎖定功率、類比、RF、MEMS 元件市場。將大量晶圓裝入爐中同時進行熱處理,因此生產力高。

與原本的 A400 相容,既有製程配方可輕鬆移轉,能加快導入量產。常壓熱處理可進行摻雜物擴散與活化、退火、氧化,LPCVD 可沉積多晶矽、氮化矽、氧化矽。

採具備 2 個反應爐的配置,在使處理量最大化的同時,將昂貴的晶圓廠樓地板面積降到最小。也可進行連續處理:將第 1 個反應爐處理完的晶圓,在無氧的受控環境中移至第 2 個反應爐進行另一道處理。使用 2 個晶舟,充分發揮反應爐的利用率。

主要規格

方式批次式立式爐(雙反應爐)
適用晶圓尺寸200 mm 以下
主要用途擴散・退火・氧化・LPCVD(多晶矽・氮化膜・氧化膜)

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

雙反應爐
無氧環境下的連續處理
與 A400 配方相容
雙晶舟運轉

主要用途

  • 功率・類比・RF・MEMS 的熱處理
  • LPCVD

製造商

ASM International(總部:荷蘭)

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資料來源

  1. ASM International 官方產品頁面:ASM A400 DUO