TWINSCAN XT:260的特點與規格

TWINSCAN XT:260 是艾司摩爾的雙載台 i 線曝光機。在具備掃描式曝光機成像精度的同時，提供高產出量。

與既有解決方案相比，生產力最高達 4 倍的 i 線掃描式曝光機，在全曝光區給予高劑量的同時，每小時處理 270 片。能以更少的晶圓廠面積製造更多晶片。

高劑量是以 2 倍縮小（而非 4 倍）的新型高穿透率投影光學系統實現。NA 可在 0.25～0.35 間調整。可具成本效益地用於影像感測器、顯示器、光子學等新技術，以及含先進封裝在內的 3D 整合製造。