JetStep S3500 是 Onto Innovation 的面板曝光機。為 OSAT 提供先進封裝的量產用微影，以最大 650 × 650mm 的基板支援扇出型面板級封裝。
隨著扇出型封裝日趨大型化與複雜化、需要以面板基板取代晶圓，本機可因應置放精度誤差、熱膨脹差異以及面板翹曲所造成的晶粒偏移。
具備 59.4 × 59.4mm 的大曝光場，以及 L/S 2/2µm（選配 1/1µm）的解析度。支援多種曝光波長，適合新型感光性聚合物的製程開發。另有翹曲面板傳送、即時對焦調整等選配。
JetStep S3500的特點與規格
Onto Innovation・i-line 步進機
支援最大 650 × 650mm 面板、針對 OSAT 的扇出型面板級封裝用曝光機。
產品概要
主要規格
| 適用基板 | 最大 650 × 650 mm |
|---|---|
| 曝光場 | 59.4 × 59.4 mm |
| 解析度 | L/S 2/2µm（選配 1/1µm） |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
最大 650 × 650mm
曝光場 59.4mm 見方
L/S 2/2µm（選配 1/1µm）
因應晶粒偏移
主要用途
- 扇出型面板級封裝
製造商
Onto Innovation（總部：美國）