NSR-SF155 是尼康（Nikon）的 i-line 步進機。以汞燈的 i-line（365nm）為光源，數值孔徑 0.62，可達到 280nm 以下的解析度。
產能為每小時 200 片以上，疊對精度為 25nm 以下。i-line 曝光並非用於先進節點的關鍵層，而是廣泛用於功率元件、類比、MEMS、感測器等，以及先進元件中尺寸要求較寬鬆的層。
尼康的 i-line 步進機另有解析度 350nm 以下、NA 0.45 的 NSR-2205iL1。該公司備有從 ArF 浸潤式掃描機（NSR-S636E 等）、KrF 掃描機到 i-line 步進機等前段製程用曝光機。