FPA-3030i6 是佳能（Canon）針對 200mm 以下小型基板的 i-line 步進機。採用以高穿透率與高耐久性為特點的新開發投影鏡頭，抑制像差並提高生產力。
透過高穿透率的鏡頭玻璃材料，將曝光時產生的鏡頭像差降至前代機型 FPA-3030i5a 的一半以下，在高照度下仍能維持高對比度並縮短曝光時間。鏡頭耐久性也高，長時間使用下穿透率與生產力不易下降。處理片數從以往的每小時 123 片增加到 130 片（8 吋）。
不僅支援 Si，也支援 SiC、GaN 等化合物半導體晶圓，NA 的可變範圍擴大到 0.30～0.63。也可選配能彈性因應 2～8 吋基板、GaAs・藍寶石等材質以及厚度與翹曲的傳送系統，用於功率元件與綠色元件的製造。