FPA-3030i5a 是佳能（Canon）針對 200mm 以下小型基板的 i-line 步進機。可製造多樣化的半導體元件，並降低持有成本（CoO）。
晶圓傳送系統可在 50mm（2 吋）至 200mm（8 吋）之間選擇，支援化合物半導體等各種晶圓的傳送。
採用不經投影鏡頭量測對準標記的新型對準鏡，可進行寬波長範圍與暗視野的量測，提高製程的穩健性。背面對準（TSA）也可選配。藉由硬體與軟體的全面更新，生產力比前代機 FPA-3030i5+ 提升約 17%，並透過變更腔體的溫度控制方式，使功耗降低約 20%。