FPA-5550iZ2 是佳能（Canon）的前段製程用 i-line 步進機。在 i-line 曝光機中具備最高水準的生產力與疊對精度，可選擇使用 200mm／300mm 晶圓。
解析力為 350nm 以下，NA 為 0.57～0.45 自動可變，縮小比為 1:4，曝光場尺寸為 26×33mm。疊對精度為 SMO（單機）18nm 以下、MMO 25nm 以下（套用選配時）。
透過最佳化對準、曝光與晶圓傳送的流程來縮短晶圓處理時間，並藉由量測與校正的高速化縮短批次更換時間。產能比前代機 FPA-5550iZ 的首號機提升約 20%。