JetStep X500的特點與規格

JetStep X500 是 Onto Innovation 的面板曝光機。為先進 IC 載板（AICS）廠商與 OSAT 提供異質整合所需的量產用微影，可對 CCL、FR4、複合材料、玻璃等面板基板進行曝光。

在摩爾定律逐漸逼近極限之際，因應將多個節點的晶片（小晶片）整合在一起的超大型封裝需求，為伺服器、AI、行動裝置提升功能、速度與 I/O 數，並降低功耗。

具備業界最大的曝光場、在大焦深下解析微細 RDL 的能力、優異的疊對精度，以及 X・Y 獨立的自動倍率補正。