最後更新:2026年10月8日後段製程・先進封裝先進封裝

扇出型晶圓級封裝(FOWLP)是什麼

Fan-Out Wafer-Level Packaging (FOWLP)

扇出型晶圓級封裝(FOWLP)是將晶片埋入重組晶圓,並把重布線層(RDL)延伸到晶片外圍以配置輸入輸出端子的封裝技術。

目錄4 項
  1. 定義與原理
  2. 相關企業
  3. 相關用語
  4. 比較文章

定義與原理

扇出型晶圓級封裝(FOWLP:Fan-Out Wafer-Level Packaging)是將晶片埋入重組晶圓(Reconstituted Wafer),並把重布線層(RDL:Redistribution Layer)延伸到晶片外圍以配置輸入輸出端子的封裝技術。不使用載板(中介層)即可實現高密度端子配置,作為薄型、低成本、高電氣性能的封裝,自2000年代後半起快速普及。

FOWLP的製程大致分為2種做法。「Chip-First」方式先將晶粒封膠,再形成重布線,台積電的InFO(Integrated Fan-Out)是其代表。「RDL-First(Chip-Last)」方式則先形成RDL再搭載晶粒,細間距導線的精度較高。兩者都能實現不依賴傳統表面黏著技術(SMT)的薄型封裝。

台積電的InFO技術因被Apple A10以後的iPhone應用處理器採用而受到業界矚目。InFO-POP(Package on Package)可在上層堆疊DRAM,已成為智慧型手機用的最先進封裝。目前也廣泛擴展至AI邊緣裝置、穿戴式裝置與IoT用途。

FOWLP與扇出型面板級封裝(FOPLP)的差異在於:FOWLP使用直徑300mm的晶圓形狀,而FOPLP則使用500×500mm以上的矩形面板以降低成本。三星正積極推動FOPLP量產化,未來也可望應用於AI用大型封裝。

FOWLP與2.5D/3D封裝的結合也在推進。ASMPT提供的扇出型對應構裝設備,以及使用噴墨印刷的低成本RDL形成技術等,設備與材料的生態系日益完善。2025年以後可望擴大應用於AI邊緣晶片與毫米波通訊模組,預估FOWLP市場將以每年10%以上的速度成長。

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