FPA-3030iWa 是佳能（Canon）針對功率元件與 IoT 相關元件、適用於 200mm 以下小型基板的低 NA i-line 步進機。採用已在市場上證明高可靠度的 FPA-3030 平台。
具備 52mm × 52mm 的大視場，採用 NA 可在 0.16～0.24 之間變化的投影鏡頭，在確保高焦深的同時，可曝光出高精度且均勻的線寬。
晶圓傳送系統可在 50mm 至 200mm 之間選擇，能傳送多種化合物半導體晶圓。現在也能傳送 SiC 等透明基板與具翹曲的基板。透過不經投影鏡頭的離軸對準鏡，可進行寬波長範圍的量測。