PROVision 4E eBeam Metrology的特點與規格

PROVision 4E 是應用材料（Applied Materials）以設計資料為基礎的電子束量測設備，專為需要高抽樣密度與考量佈局之製程管理的製造現場而設計。

將圖案輪廓與佈局比對分析，產生數百萬點的資料。大量抽樣對佈局敏感的熱點，調查晶粒內與晶粒間的變異。這在先進 FinFET 邏輯與次世代 DRAM 中愈來愈重要。

支援範圍從成熟節點到先進邏輯・記憶體，也可用於物聯網・通訊・車用・功率・感測器（ICAPS）領域的製程管理。取得有關製程均勻性與臨界缺陷的具體資訊，加快良率爬升。