VeritySEM 6D 是應用材料（Applied Materials）面向介電質晶圓的 CD-SEM。介電質是絕緣性佳、可儲存能量的材料，用於電容與記憶胞。
其中玻璃電氣損耗小、熱穩定性高，且堅硬透明，因此開始用於傳輸光訊號的光學互連，並擴及 AR／VR、MEMS、CMOS 影像感測器、記憶體・邏輯、RF・功率、扇出型 WLP 等領域。
介電質結構與薄膜在製造過程中容易帶電，需要與矽不同的處理方式。這是一款針對尺寸・厚度・不透明度・導電性各異之介電質晶圓的量產製程管理所設計的 CD-SEM。