VeritySEM 6C 是應用材料（Applied Materials）面向化合物半導體的 CD-SEM（尺寸量測用掃描式電子顯微鏡）。車用電動化與自動駕駛所用的 SiC・GaN、次世代顯示器的 GaAs・GaN、5G／6G 通訊的 GaN-on-SiC 等化合物半導體需求持續增加。
化合物半導體的晶圓尺寸、厚度、不透明度與導電性各不相同，有時還混有 2D 與 3D 結構，使量產中的製程管理變得困難。圖案大小也從 0.1µm 到超過 100µm 不等，需要嚴格的尺寸管理。
作為在晶圓搬運與量測兩方面都具彈性的 CD-SEM，可配合化合物半導體的各種需求。