eDRX1 是科磊以電子束（e-beam）進行晶圓缺陷再檢測・分類的設備。支援 CPU、GPU、DRAM、3D NAND 等廣泛節點與元件的矽基晶圓・晶片製造。
擷取缺陷的高解析度影像，準確呈現晶圓上的缺陷分布。以廣泛的電子光學系統與專用鏡筒內偵測器，可在精細的 EUV 微影層、高深寬比溝槽層、電位對比層等多種製程中觀察缺陷。以獨家 Simul-6 技術，1 次測試即可完成關鍵缺陷的柏拉圖。
透過與 39xx・29xx 光學式檢測設備的 DualSENS、與 Surfscan 的 OptiSens 等連動功能，與科磊的檢測設備結合，加速晶片與晶圓製造的良率改善。