SEMVision G7 系列是應用材料的電子束缺陷再檢測設備。缺陷的再檢測・分類・分析，是監控・管理各製造步驟品質不可或缺的工作。
隨著車用、IoT、RF、光子學、功率、先進封裝的成長，晶片產量增加，化合物半導體等新型晶圓也開始使用。因應這些變化，需要能快速找出關鍵缺陷的成像性能。
以已成為業界標準的獨家 e-lluminator 技術、高解析度，以及進化的自動缺陷再檢測（ADR）・自動缺陷分類（ADC），確實找出根本原因，實現精密的統計製程管制。
SEMVision G7 Defect Analysis的特點與規格
應用材料（Applied Materials）・缺陷覆檢 SEM（Review SEM）
具備自動缺陷再檢測（ADR）與自動缺陷分類（ADC）的缺陷再檢測 SEM。也用於車用・RF・功率・化合物半導體。
產品概要
主要規格
| 方式 | 電子束缺陷再檢測（e-lluminator 技術） |
|---|---|
| 功能 | 自動缺陷再檢測（ADR）・自動缺陷分類（ADC） |
| 對象 | 車用・IoT・RF・光子學・功率・先進封裝 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
e-lluminator 技術
自動缺陷再檢測（ADR）
自動缺陷分類（ADC）
主要用途
- 車用・功率・RF 元件的缺陷再檢測
- 化合物半導體的製程管理
製造商與在台據點
在台據點
- 新竹據點（新竹科學園區）：1996 年進駐，技術研發中心
- 台南據點（台南）：製造中心與顯示器設備製造研發中心
- 林口・台中據點（林口・台中）：營運據點
所屬設備分類
相關用語
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