SEMVision H20 是應用材料的電子束缺陷再檢測（defect review）系統。在最先進節點，光學檢測難以區分製程變異的雜訊與缺陷，容易產生誤判多而密集的缺陷圖，送往電子束再檢測的缺陷候選增加了 10～100 倍。
H20 使用冷場發射（CFE）電子束技術，以次奈米解析度觀察最微小的埋藏缺陷。第2代 CFE 技術在維持高靈敏度與解析度的同時提高成像速度，能以更短時間收集相同的資訊量。
整合深度學習 AI 功能，自動從擾亂缺陷（nuisance）與雜訊中擷取關鍵缺陷。AI 模型可使用客戶自己的缺陷影像或設計模擬進行訓練，提高分類準確度。SEMVision 是使用最廣泛的電子束再檢測設備系列。