SEMVision G9 Defect Analysis的特點與規格

SEMVision G9 是應用材料的自動缺陷再檢測設備。微縮與 3D 化使量產難度增加，要從光學檢測得到的高密度缺陷圖中快速找出影響良率的缺陷並找出根本原因，變得更加困難。

對廣泛的製程層與元件種類，進行高產出・高解析度的自動缺陷再檢測。以 Elluminator 的背向散射電子（BSE）穿透成像、電子束傾斜與大焦深，可清楚觀察高深寬比 3D 結構的內部。

整合已在量產中驗證的深度學習功能，提供即時分類與實用的洞見。