缺陷覆檢 SEM（Review SEM）是什麼

缺陷覆檢 SEM（Review SEM）是自動移動到缺陷檢測設備輸出的缺陷座標，以高解析度 SEM 影像逐一分類缺陷的設備。檢測設備能高速找出缺陷的有無與位置，但無法判別形狀，因此由覆檢 SEM 將缺陷自動分類（ADC）為異物、圖案缺損、殘留物等類別，進而找出發生的製程。搭載 EDX 的機型還能同時取得元素組成，加快汙染來源的鑑定。是左右良率爬坡期分析前置時間的設備。

重點整理

自動移動到檢測設備輸出的缺陷座標，以高解析度觀察
將缺陷自動分類（ADC）為異物、圖案缺損、殘留物等
搭載 EDX 的機型可同時取得元素組成，鑑定汙染來源
與缺陷檢測設備搭配，決定良率分析的前置時間

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