Dragonfly G5的特點與規格

Dragonfly G5 是 Onto Innovation 針對先進封裝線上製程管理的檢測設備。為 Dragonfly 系列最新世代的圖案檢測設備，可檢出次微米缺陷並進行高解析度 3D 量測。

為因應先進半導體技術的要求，設計用於在複雜異質整合的整個製程中進行高性能、高可靠度的檢測與量測。

藉由新一代高速線掃描 2D 影像擷取與專用設計的物鏡，實現比前一代機型 3 倍以上的產能提升，以及可達 150nm 的次微米靈敏度。