晶圓級封裝是什麼
晶圓級封裝(WLP:Wafer Level Packaging)是在切割前的晶圓狀態下,一次完成重布線層形成、凸塊形成、保護膜形成等封裝工序的先進技術。藉由Fan-In型(WLCSP)的超小型化、Fan-Out型(FOWLP)的高密度I/O導線,以及對2.5D/3D堆疊安裝的支援,為行動裝置與AI晶片實現高效能・小型・薄型封裝。與傳統的單顆封裝相比,也能達成大幅降低成本與提升製造效率。
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封裝設備的其他分類
植球機是將錫球一次性放置到BGA或CSP的封裝載板,或晶圓電極焊墊上的設備。
黏晶機黏晶機(Die Bonder)是將篩選出的良品晶片,以高精度放置並固定到載板・導線架・封裝基材上的組裝設備。
覆晶接合機覆晶接合機(Flip Chip Bonder)是將晶片翻面後直接安裝到載板上,透過焊料凸塊進行電氣與機械連接的先進封裝設備。
封膠設備(Molding)封膠設備(Molding設備)是以環氧樹脂(EMC:環氧樹脂封裝膠材)包覆晶片(晶粒),保護其免受外部環境(濕氣・機械衝擊・熱)影響的後段製程核心設備。
電漿清洗機(後段製程)後段製程的電漿清洗機,是在黏晶・打線接合・封膠・底部填膠之前,以電漿處理導線架、封裝載板與晶片表面的設備。
回焊爐回焊爐是將錫膏、錫球或凸塊熔化以進行接合的加熱爐。
暫時鍵合・解鍵合設備暫時鍵合・解鍵合設備,是由以黏著劑將元件晶圓暫時貼附到玻璃等支撐基板上的暫時鍵合(Temporary Bonding)設備,以及在背面薄化・加工完成後從支撐基板剝離的解鍵合(Deb…
TC 接合機(熱壓接合機)TC接合機(熱壓接合機)是將晶片逐1顆吸附,對準載板、晶圓或下層晶片,以接合頭同時施加加熱與加壓來接合微凸塊的設備。
底部填膠設備底部填膠設備是在覆晶連接的晶片與載板之間的空間,填充液態環氧樹脂(底部填膠材料)並使其硬化的後段製程設備。
晶圓貼膜機晶圓貼膜機(切割膠帶貼膜機)是在切割工序前,將晶圓貼附到固定於切割框架(環形框架)上之膠帶的設備。
打線機打線機(Wire Bonder)是使用金線・銅線・鋁線等極細導線,將晶片的接合焊墊與載板・導線架做電氣連接的組裝設備。
晶圓級封裝的主要機型(19)
- Charger UBM PVD應用材料(Applied Materials)
- Endura Underbump Metallization PVD應用材料(Applied Materials)
- Topaz PVD應用材料(Applied Materials)
- Datacon 8800 CHAMEO advancedBesi
- FPA-5520iV佳能(Canon)
- FPA-8000iW佳能(Canon)
- DAS8930迪思科(DISCO)
- DFS8960迪思科(DISCO)
- GEMINI FB XTEV Group(EVG)
- LITHOSCALE XTEV Group(EVG)
- Kronos 1190XR科磊(KLA)
- Kallisto科林研發(Lam Research)
- Phoenix科林研發(Lam Research)
- Triton科林研發(Lam Research)
- Dragonfly G5Onto Innovation
- Firefly G5Onto Innovation
- PrimaScan POnto Innovation
- DSC300 Gen3SUSS MicroTec
- XBS300 W2WSUSS MicroTec