Charger UBM PVD 是應用材料(Applied Materials)的封裝用 PVD 設備。專為 UBM(凸塊下金屬層)、RDL(重布線層)及 CMOS 影像感測器的用途而設計。
採直線排列的線性架構,處理片數為其他廠商設備的 2 倍以上。搭配 Volaris 預清洗技術,抑制有機膜釋氣造成的汙染,增加了到保養前可處理的片數。
為滿足 UBM・RDL 所用 Ti、TiW、Cu、NiV 等金屬的膜厚均勻性要求,改良了磁控管與腔體。可從小型的 3 腔體配置,以短暫的停機時間擴充為量產用的 5 腔體配置。