SU-3300（枚葉式洗浄装置）

SCREEN の枚葉式洗浄装置。4段×6タワーで最大 24 チャンバーを搭載し、薬液処理によるウェットエッチング・洗浄を高い生産性で行う。

SU-3300とは

SU-3300 は、SCREEN セミコンダクターソリューションズの枚葉式洗浄装置です。4段×6タワー構造で業界最大級の 24 チャンバーを搭載でき、高い生産性を実現しています。チャンバー単位でのサービス（シングルチャンバーサービス）にも対応します。

最新の乾燥技術でウェーハ上の気液界面を高精度かつ素早く制御し、チャンバー内の温度・湿度を常に最適に保ちます。これにより、微細化で脆くなった高アスペクト比パターンの倒壊を大きく抑えます。

SU-3200 に搭載した超清浄化技術 APAC をさらに進化させた APAC2 を採用し、チャンバー内の気流を高精度に制御する ASC（Advanced Stream Control）で処理環境を改善、チャンバー間差も減らしています。後継の SU-3400 は同じ 24 チャンバーでフットプリントを 30% 削減しました。

主な特長

•最大 24 チャンバー（4段×6タワー）
•気液界面を制御する乾燥技術で高アスペクト比パターンの倒壊を抑制
•APAC2（ASC 気流制御）によるチャンバー内の超清浄化
•シングルチャンバーサービス

主な仕様

方式	枚葉式（薬液処理）
チャンバー構成	最大 24 チャンバー（4段×6タワー）
主な技術	パターン倒壊を抑える乾燥技術・APAC2（チャンバー内気流制御）
主要用途	ウェットエッチング・洗浄（高アスペクト比パターン）

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	SCREENホールディングスSU-3300（枚葉式洗浄装置）	東京エレクトロン（TEL）EXPEDIUS™-i（バッチ式洗浄装置）
方式	枚葉式（薬液処理）	バッチ式（最大 50 枚／バッチ）
主要用途	ウェットエッチング・洗浄（高アスペクト比パターン）	SiN 選択ウェットエッチング・前後洗浄・レジスト剥離

1機種だけが掲載している項目（4件）

チャンバー構成	最大 24 チャンバー（4段×6タワー）	—
主な技術	パターン倒壊を抑える乾燥技術・APAC2（チャンバー内気流制御）	—
対応ウェハ径	—	300 mm
スループット	—	1,000 wph

※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。