CELLESTA Pro SPM的特點與規格

CELLESTA Pro SPM 是東京威力科創（TEL）單晶圓清洗設備 CELLESTA 系列中，專門用於 SPM（硫酸過氧化氫）處理的機種，於 2019年5月開始銷售。

堆疊 SPM 專用腔體，最多可搭載 18 個腔體。與以往設備相比，生產力提升 1.5 倍，SPM 藥液成本最多可減少 50%，能大幅減少硫酸用量。

具備抑制液體飛濺（splash）的技術、防汙染功能與自動清洗功能，實現免維護。也可用於控制 TiN 膜與 W 膜選擇比的濕式金屬蝕刻、CMP 後清洗與灰化後清洗。