H83／H84的特點與規格

H83／H84 是愛發科（ULVAC）的臥式擴散爐。為擁有 30 年以上實績、可靠度高的設備，用於 200mm 矽晶圓的擴散、熱氧化、退火等熱處理。

1 台機台可選擇不同製程，3 層・4 層配置可節省安裝空間。5 區加熱器各自獨立控制，溫度控制的均溫性與穩定性優異。採自家製控制系統，操作簡單且可靠。

可進行熱氫氧（pyrogenic）氧化、濕式氧化、乾式氧化、使用三氯氧磷（POCl₃）或三溴化硼（BBr₃）的磷擴散・硼擴散、退火等處理。常用溫度為 600～1,200℃，均溫性為 ±1.0℃。