TWINSCAN EXE:5000とは
TWINSCAN EXE:5000 は、ASML の初めての 0.55 NA（High-NA）EUV 露光装置です。デュアルステージの装置で、先端のロジックとメモリの生産に向けて 8nm の解像度を提供する新しい世代の最初の機種です。
8nm の解像度で、TWINSCAN NXE に比べて 1.7 倍小さいパターンを 1 回の露光で描けるため、トランジスタ密度は 2.9 倍になります。
より小さいパターンを描けることで、量産で多重パターニングの代わりに 1 回のパターニングを使えるようになり、工程を簡素にして製造サイクル時間を短縮し、ウェーハの生産量を増やします。
主な特長
- •初の High-NA（0.55 NA）EUV
- •解像度 8nm
- •NXE 比 1.7 倍小さいパターン・2.9 倍の密度
主な仕様
| 光源 | EUV（13.5nm） |
|---|---|
| 投影光学系 | NA 0.55（High-NA） |
| 解像度 | 8 nm |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | ASMLTWINSCAN NXE:3600D | ASMLTWINSCAN EXE:5000 | ASMLTWINSCAN EXE:5200B | ASMLTWINSCAN NXE:3800E | ASMLTWINSCAN NXE:3400C |
|---|---|---|---|---|---|
| 光源 | EUV 13.5 nm（スズプラズマ） | EUV（13.5nm） | EUV（13.5nm・改良光源） | EUV（13.5nm） | EUV（13.5nm） |
| 投影光学系 | — | NA 0.55（High-NA） | NA 0.55（High-NA） | NA 0.33 | — |
| 主要用途 | 5nm・3nm ロジック、先端 DRAM の量産 | — | — | 2nm ロジック・先端 DRAM の量産 | — |
| 解像度 | — | 8 nm | 8 nm（NXE 比イメージングコントラスト 40% 向上） | — | — |
1機種だけが掲載している項目（5件）
| 開口数（NA） | 0.33 | — | — | — | — |
|---|---|---|---|---|---|
| 最大露光フィールド | 26 × 33 mm | — | — | — | — |
| 対応ウェハ径 | 300 mm | — | — | — | — |
| スループット | — | — | — | — | 毎時 170 枚以上（300mm） |
| 対象ノード | — | — | — | — | 7nm・5nm |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •先端ロジック・メモリの微細パターン
- •多重パターニングの削減
掲載カテゴリ
TWINSCAN EXE:5000は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
EUV露光装置のほかの製品
ASMLのほかの製品
TWINSCAN NXE:3600D（EUV露光装置）TWINSCAN NXT:2100i（DUV露光装置）TWINSCAN EXE:5200B（EUV露光装置）TWINSCAN NXE:3800E（EUV露光装置）TWINSCAN NXE:3400C（EUV露光装置）TWINSCAN NXT:2150i（DUV露光装置）TWINSCAN NXT:2050i（DUV露光装置）TWINSCAN NXT:2000i（DUV露光装置）TWINSCAN NXT:1980Fi（DUV露光装置）TWINSCAN NXT:1470（DUV露光装置）TWINSCAN XT:1460K（DUV露光装置）TWINSCAN XT:1060K（DUV露光装置）TWINSCAN NXT:870B（DUV露光装置）TWINSCAN NXT:870（DUV露光装置）TWINSCAN XT:860N（DUV露光装置）TWINSCAN XT:860M（DUV露光装置）TWINSCAN XT:400M（i線ステッパー）TWINSCAN XT:260（i線ステッパー）YieldStar 1390（オーバーレイ計測装置）YieldStar 1385（オーバーレイ計測装置）YieldStar 500（オーバーレイ計測装置）HMI eScan 1100（電子線（EB）検査装置）HMI eScan 600（電子線（EB）検査装置）HMI eP5（電子線（EB）検査装置）
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07