TWINSCAN NXT:2100i

ASML の ArF 液浸 DUV 露光装置。EUV 装置との重ね合わせ（クロスマッチング）を意識した改良で、単体機・機間の重ね合わせ精度を高めた。

TWINSCAN NXT:2100iとは

TWINSCAN NXT:2100i は、ASML の ArF 液浸 DUV 露光装置です。ウェーハと投影レンズの間を水で満たす液浸方式で、ArF（193nm）光の解像力を高めます。2つのウェーハステージを持つデュアルステージ構成で、計測と露光を並行して進めます。

先端工場では EUV と DUV の露光装置を同じ製品の別の層に使い分けるため、両者の重ね合わせ（クロスマッチング）が重要になります。NXT:2100i は新しいレンズ歪みマニピュレータを搭載して DUV と EUV のクロスマッチングに対応し、アライメント計測を 4 色から 12 色に増やしました。

レチクルの熱コンディショニングの強化や、レンズ計測用の新しい統合センサーユニットとあわせ、単体機の重ね合わせ精度を最大 10%（0.9nm）、機間の重ね合わせ精度を 13%（1.3nm）改善しています。メモリとロジックの量産に使われます。

主な特長

•ArF 液浸・デュアルステージ
•DUV–EUV クロスマッチング用のレンズ歪みマニピュレータ
•アライメント計測を 4 色から 12 色へ
•重ね合わせ精度単体 0.9nm・機間 1.3nm

主な仕様

光源	ArF 液浸（193 nm）
ステージ	デュアルステージ
重ね合わせ精度	単体機 0.9 nm・機間 1.3 nm（前機種比 10%／13% 改善）
対応ウェハ径	300 mm
主要用途	先端メモリ・ロジック（EUV との混用工程）

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	ASMLTWINSCAN NXT:2100i	ニコン（Nikon）NSR-S635E	キヤノン（Canon）FPA-3030EX6
光源	ArF 液浸（193 nm）	ArF 液浸（193 nm）	KrF（248 nm）
重ね合わせ精度	単体機 0.9 nm・機間 1.3 nm（前機種比 10%／13% 改善）	MMO 2.1 nm 以下	25 nm 以下
対応ウェハ径	300 mm	—	100／125／150／200 mm（選択）
開口数（NA）	—	1.35	0.65 ～ 0.50（自動可変）
解像度	—	38 nm 以下	150 nm 以下
スループット	—	275 枚／時以上（96 ショット）	121 枚／時以上

1機種だけが掲載している項目（3件）

ステージ	デュアルステージ	—	—
主要用途	先端メモリ・ロジック（EUV との混用工程）	—	—
関連機種	—	NSR-S636E（後継機）	—

※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。