點膠機(Dispenser)是將黏著劑、樹脂、錫膏等液態材料,以固定的量吐出並塗佈在固定位置的設備。在半導體後段製程中,用於填充覆晶晶片與基板間隙的底部填充膠、將晶片黏貼到基板上的黏晶用膠材、覆蓋元件的封裝膠材等,許多處理液態材料的步驟都會使用。
點膠機依吐出方式分為幾種。(1)氣壓式(時間・壓力式):對針筒施加壓縮空氣,以施加時間決定吐出量,是最基本的方式。(2)螺桿(auger)式:以螺桿旋轉擠出材料,即使是高黏度材料也能穩定吐出量。(3)容積計量式:以活塞等擠出固定體積,能以高精度管理吐出量。(4)噴射式:噴嘴不需靠近基板,以高速將材料射出的非接觸方式,可快速塗佈在細小位置。依材料黏度、所需的量與精度以及速度選擇方式。
塗佈底部填充膠時,沿著晶片邊緣吐出樹脂,樹脂便會因毛細現象流入晶片下方的狹窄間隙。為了不留下氣孔(void)並抑制溢膠,會精細控制吐出量、位置、路徑與基板溫度。在精密塗佈中,溫度造成的黏度變化,以及材料隨時間固化的可使用時間(pot life)管理也很重要。在前段製程中,塗佈顯影機上將光阻或化學液吐出到晶圓上的噴嘴部分,也稱為點膠單元(dispense unit)。