Cavity在英文中意指「空洞、凹陷」,在半導體領域主要有2種意思。第1種是不以樹脂填埋晶片、而將其收納於空間(空洞)中的封裝結構,稱為空腔封裝(中空封裝)。另1種是樹脂封裝模具中呈產品形狀的凹槽(模穴),熔融的樹脂流入其中,形成封裝的形狀。
空腔封裝用於晶片表面不能接觸樹脂的產品。代表例包括影像感測器這類接收光線的產品、MEMS加速度感測器或麥克風這類具有可動部的產品、希望避免樹脂介電常數造成特性變化的高頻元件,以及半導體雷射等光元件。方式有將晶片放入陶瓷封裝並以上蓋(lid)密封,以及在樹脂基板上築牆再加蓋等,有時也會在內部填充乾燥的氮氣進行氣密封裝。
模具的模穴是在轉注成型(transfer molding)或壓縮成型中決定封裝外形的部分。在轉注成型中,將加熱熔化的封裝樹脂從料筒(pot)經流道(runner)壓入各模穴並使其固化。模穴的尺寸精度、表面處理以及樹脂流動的設計,會影響封裝的尺寸、外觀,以及內部的氣孔與焊線偏移(wire sweep)。每次成型後未使用而殘留的樹脂部分稱為料餅(cull),會從產品上切除。