各種センサ・モータメーカー6社
各種センサ・モータは、装置の状態を検出し、機構を動かすための基礎部品です。ウェハの有無を見る光電・静電容量センサ、流量・圧力・温度センサ、位置決め用のエンコーダとサーボモータ、開閉を担うエアシリンダなどが該当します。半導体装置では、薬液雰囲気やプラズマ環境で誤動作しないこと、そして自身がパーティクル源にならないことが一般産業用との違いになります。センサの1点の誤検出がウェハ落下やチャンバ開放につながるため、冗長化と自己診断機能の有無が信頼性を分けます。
主要特徴
メーカー
6社の主要メーカー
産業用計測・制御システムの国内大手メーカー。半導体ファブ向けにはプローバー関連装置やプロセス計測機器を含む幅広い計測・制御ソリューションを展開する。
- •産業計測・制御システムで国内大手
- •半導体ファブ向け計測機器を展開
総合電機メーカー。パワー半導体・電子部品事業を通じて、車載・産業機器向けデバイスを幅広く展開する。半導体製造装置事業（PSFS）も保有する。
- •パワー半導体・電子部品を幅広く展開
- •車載・産業機器向けに強み
計測と制御を軸にした自動化メーカー（旧・山武）。半導体工場ではクリーンルームの空調制御や、装置内の各種センサ・バルブを供給する。
- •計測・制御の専業メーカーとして長い歴史
- •クリーンルーム空調制御の実績
精密位置決めセンサに特化したFAセンサメーカー。高精度位置決めタッチスイッチで世界トップシェアを持ち、半導体装置の原点出しや治具の着座検知に使われる。
- •精密位置決めタッチスイッチで世界トップシェア
- •位置決めセンサに特化した専業
エンコーダ、スイッチ、センサを手掛ける電子部品メーカー（旧・日本電産コパル電子）。装置のステージやロボット軸の位置検出に使われる。
- •エンコーダとスイッチを自社で持つ
- •小型・高分解能の位置検出に強い
薬液用のフィッティングと流体機器の総合メーカー。半導体製造装置の薬液配管に使うクイックカプラや流量センサ、ポンプを供給する。
- •薬液用フィッティングの専業メーカー
- •フッ素樹脂の成形技術
関連カテゴリ
エキシマレーザー発振器は、希ガスとハロゲンの混合ガスを放電励起して紫外光を出す光源です。
メーカー 3 社超音波・メガソニック振動子超音波・メガソニック振動子は、洗浄液に高周波の音波を与え、その物理力でウェハ表面のパーティクルを剥離させる部品です。
メーカー 2 社光学系ユニット・UVランプ光学系ユニット・UVランプは、装置内で光を作り、整形し、必要な場所へ導くための部品群です。
メーカー 5 社精密ステージ・干渉計精密ステージ・干渉計は、ウェハを保持して移動させ、その位置をnm精度で測定するユニットです。
メーカー 3 社除振システム除振システムは、床から伝わる振動や装置自身が出す振動を遮断し、精密ユニットを静かな環境に置くための機構です。
メーカー 4 社ウェハ搬送ロボット・ハンドリングウェハ搬送ロボット・ハンドリングシステムは、キャリアとプロセスチャンバの間でウェハを掴み、運び、置くための機構です。
メーカー 7 社