XP8 Synergis的特點與規格

Synergis 是 ASM 的高產能 300mm 熱 ALD 設備，用於多種熱 ALD 應用。

以獨立腔體達到單晶圓式等級的性能，並以低容積腔體提高氣體吹淨效率、加快處理速度。透過精密的溫度控制獲得優異的共形性（conformality），腔體間匹配性良好，晶圓間的再現性優異。

保養時間短、稼動率高，可壓低每片晶圓的成本。用於金屬氧化物、介電膜、金屬氮化物、純金屬等共形薄膜，以及蝕刻停止層、硬遮罩、低電阻的極薄阻障層與封裝保護膜等。