TWINSCAN NXT:870B 是艾司摩爾（ASML）的雙載台 KrF 乾式曝光機。業界首度以每小時 400 片的速度曝光 300mm 晶圓。
為 NXT:870 的後繼機種，透過光學系統與機電系統的改良，產能提高 20%，同時維持疊對與成像性能。降低每次曝光的成本，使晶圓廠空間的價值最大化。
KrF 曝光機是為眾多市場製造晶片的業界主力機台。與前一機種相同，在與 ArF 乾式及浸潤式相同的 NXT 平台上使用 KrF 技術，因此與這些設備所描繪的層之間對位良好，可提升疊對。
TWINSCAN NXT:870B的特點與規格
艾司摩爾（ASML）・DUV 曝光機
業界首台達成每小時 400 片的 KrF 乾式曝光機。為 NXT:870 的後繼機種，產能提高 20%。
產品概要
主要規格
| 光源 | KrF 乾式（248nm） |
|---|---|
| 產能 | 每小時 400 片（300mm） |
| 改善 | 較 NXT:870 提升 20% |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
每小時 400 片（業界首創）
較 NXT:870 提升 20%
與 ArF 相同的 NXT 平台
主要用途
- KrF 層的大量生產
製造商與在台據點
在台據點
- 台灣總部（新竹）：2003 年成立
- 林口據點・新廠區（新北市林口區）：客戶支援與工廠；林口工一產業園區新廠是在台最大投資
- 台中・台南據點（台中・台南）：客戶支援據點，台南另設工廠
所屬設備分類
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