TWINSCAN XT:860M 是艾司摩爾（ASML）的高生產力雙載台 KrF 曝光機。採用最先進的光學系統，專為以 110nm 以下解析度量產 300mm 晶圓而設計。
結合可變 NA 0.55～0.80 的 Carl Zeiss Starlith 860+ 4 倍縮小鏡頭，以及 AERIAL II 與選配的 QUASAR XL 照明技術，將量產實績豐富的 KrF 技術擴展到 110nm 的應用。
將窄頻化的 40W KrF 雷射與頻率控制，結合光學系統的高穿透率，獲得高生產產能。
TWINSCAN XT:860M的特點與規格
艾司摩爾（ASML）・DUV 曝光機
用於 110nm 以下 300mm 量產的高生產力 KrF 曝光機。
產品概要
主要規格
| 光源 | KrF（248nm・40W 雷射） |
|---|---|
| 投影光學系統 | 可變 NA 0.55～0.80（Carl Zeiss Starlith 860+） |
| 適用晶圓尺寸 | 300 mm |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
110nm 以下的 KrF
可變 NA 0.55～0.80
雙載台
主要用途
- 300mm 的 KrF 量產
製造商與在台據點
在台據點
- 台灣總部（新竹）：2003 年成立
- 林口據點・新廠區（新北市林口區）：客戶支援與工廠；林口工一產業園區新廠是在台最大投資
- 台中・台南據點（台中・台南）：客戶支援據點，台南另設工廠
所屬設備分類
相關用語
同分類的其他機型
- TWINSCAN NXT:1470艾司摩爾（ASML）
- TWINSCAN NXT:1980Fi艾司摩爾（ASML）
- TWINSCAN NXT:2000i艾司摩爾（ASML）
- TWINSCAN NXT:2050i艾司摩爾（ASML）
- TWINSCAN NXT:2100i艾司摩爾（ASML）
- TWINSCAN NXT:2150i艾司摩爾（ASML）
- TWINSCAN NXT:870艾司摩爾（ASML）
- TWINSCAN NXT:870B艾司摩爾（ASML）
- TWINSCAN XT:1060K艾司摩爾（ASML）
- TWINSCAN XT:1460K艾司摩爾（ASML）
- TWINSCAN XT:860N艾司摩爾（ASML）
- FPA-3030EX6佳能（Canon）