TWINSCAN NXT:1470 是艾司摩爾（ASML）的 193nm 步進掃描式曝光機。是首台建構於高生產力・高精度 NXT 平台上的「乾式」曝光機。
作為乾式設備首度達成產品上疊對未滿 4.5nm，也是所有曝光機中首台處理能力超過每小時 300 片的機種。
以優異的疊對與產能降低每 1 次曝光的成本，在相同的微影單元面積下可多生產最多 50% 的晶圓。也將延伸到今後 KrF 的 NXT 設備，在提升機台間匹配的同時降低晶片製造成本。
TWINSCAN NXT:1470的特點與規格
艾司摩爾（ASML）・DUV 曝光機
NXT 平台首款乾式 ArF 曝光機。是首台每小時超過 300 片的曝光機。
產品概要
主要規格
| 光源 | ArF 乾式（193nm） |
|---|---|
| 疊對 | 產品上未滿 4.5nm（乾式機首度達成） |
| 產能 | 每小時超過 300 片 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
NXT 首款乾式 ArF
每小時超過 300 片
疊對未滿 4.5nm
主要用途
- ArF 乾式層的量產
製造商與在台據點
在台據點
- 台灣總部（新竹）：2003 年成立
- 林口據點・新廠區（新北市林口區）：客戶支援與工廠；林口工一產業園區新廠是在台最大投資
- 台中・台南據點（台中・台南）：客戶支援據點，台南另設工廠
所屬設備分類
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