TWINSCAN XT:1460K的特點與規格

TWINSCAN XT:1460K 是艾司摩爾（ASML）的 193nm 步進掃描式曝光機。是為了以 65nm 解析度量產 300mm 晶圓而設計的高生產力雙載台 ArF 曝光機。

搭載可變 NA 0.93 的 193nm 投影鏡頭與先進的鏡頭調整器（manipulator）。

透過 TWINSCAN 平台的雙晶圓載台，同時進行 1 片晶圓的曝光與下一片晶圓的對準，幾乎不需等待即可連續描繪圖案。具備優異的 CD 均勻性、業界領先的疊對，以及長期的性能穩定性。標準配備 45W 的 ArF 雷射。