TWINSCAN XT:1060K的特點與規格

TWINSCAN XT:1060K 是艾司摩爾（ASML）最先進的 KrF（氟化氪）雷射「乾式」曝光機。為 248nm 步進掃描式的雙載台設備，具備業界最高的 NA 與生產力。

延長關鍵 KrF 技術的使用壽命，在活用成熟 KrF 製程的同時降低每層成本。

適用於 2X nm 以後技術節點中記憶體與邏輯的金屬、通孔、離子佈植層。透過與其他 TWINSCAN KrF 設備的成像匹配，以及與 ArF・KrF 設備優異的疊對匹配，可順利導入量產環境。