FPA-3030EX6 是佳能針對 IoT 相關元件的 KrF 步進機。曝光波長為 KrF 的 248nm，縮小倍率 1:5，光罩為 6 吋。解析力為 150nm 以下，廠商表示其性能在同級 KrF 準分子雷射步進機中屬最高水準。
NA 為 0.65～0.50 自動可變，曝光區域 22×22mm，疊對精度 25nm 以下，產能每小時 121 片以上。晶圓尺寸可從 100／125／150／200mm 中選擇。
沿襲前代機型 FPA-3000EX6 的性能，同時搭載與已有實績的 i-line 步進機 FPA-3030i5+ 共通的晶圓傳送系統，可傳送各種材質、尺寸與厚度的基板。適合在小尺寸產線上製造多品種的 IoT 元件。