CG7300（高分解能FEB測長装置）

EUV 世代デバイスの量産に対応した日立ハイテクの高信頼性 CD-SEM。装置間マッチングを従来機比約 10% 向上させた。

CG7300とは

CG7300 は、日立ハイテクの高分解能 FEB 測長装置（CD-SEM）です。EUV 世代デバイスの量産に対応した高信頼性の CD-SEM として位置づけられ、多様な計測を高精度かつ高い信頼性で行います。

原子サイズレベルで装置間の差を小さくすることで、信頼性の高いプロセス管理を実現しています。装置間マッチングは従来機種比で約 10% 向上しました。耐環境性能の向上と、高速スキャン方式による帯電制御で、よりクリアで高解像度の画像を得られます。

低倍率画像の歪みを改善したことで、高精度な CD 計測から広範囲の CDU（CD 均一性）計測まで幅広いニーズに対応します。高速搬送システムによる高スループット化と、ウェーハ外周の計測除外領域（Edge Exclusion）の改善で生産性の向上にも寄与します。

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	日立ハイテクGT2000（高精度電子線計測システム）	日立ハイテクCG7300（高分解能FEB測長装置）	Applied MaterialsVeritySEM® 20 CD Metrology
測定方式	CD-SEM	CD-SEM	CD-SEM（サブナノメートル分解能）
対象世代	High-NA EUV 世代	EUV 量産世代	EUV・High-NA EUV、GAA・DRAM・3D NAND
特徴	超低加速電圧 100V・3D 構造向け反射電子検出系	装置間マッチング約 10% 向上・高速スキャンの帯電制御	多方向スキャン、スループット 20〜50% 向上、2D 構造のマッチング最大 25% 改善
主要用途	先端ロジック・メモリの寸法計測	量産ラインの CD・CDU 計測	EUV スキャナーの校正・先端デバイスの寸法計測