OPTELICS HYBRID+ 是 Lasertec 的混合式雷射顯微鏡。作為業界首款混合式雷射顯微鏡,將多台設備的功能整合於1台。
具備白光共軛焦顯微鏡、雷射共軛焦顯微鏡、微分干涉觀察、垂直式白光干涉量測、相位移干涉量測、反射光譜膜厚量測 6 種功能。以高倍率・高解析度達到媲美電子顯微鏡的性能,以高對比即時呈現微小凹凸。
以業界最高等級的 15Hz 影格率高速量測。垂直式白光干涉可用奈米級精度量測毫米級的大範圍,相位移干涉可量測埃級的形狀,反射光譜可量測 1 微米以下透明薄膜的膜厚。另備有量測・分析軟體 LM eye、自動量測軟體 LIBRA、自動檢測・缺陷分類軟體 LM Inspect,以及全自動搬送的 W 系列。