最後更新:2026年10月23日形貌觀察設備(SEM/TEM)

OPTELICS HYBRID+的特點與規格

Lasertec・形貌觀察設備(SEM/TEM)

結合白光共軛焦與雷射共軛焦(405 nm)光學系統的混合式雷射顯微鏡。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

OPTELICS HYBRID+ 是 Lasertec 的混合式雷射顯微鏡。作為業界首款混合式雷射顯微鏡,將多台設備的功能整合於1台。

具備白光共軛焦顯微鏡、雷射共軛焦顯微鏡、微分干涉觀察、垂直式白光干涉量測、相位移干涉量測、反射光譜膜厚量測 6 種功能。以高倍率・高解析度達到媲美電子顯微鏡的性能,以高對比即時呈現微小凹凸。

以業界最高等級的 15Hz 影格率高速量測。垂直式白光干涉可用奈米級精度量測毫米級的大範圍,相位移干涉可量測埃級的形狀,反射光譜可量測 1 微米以下透明薄膜的膜厚。另備有量測・分析軟體 LM eye、自動量測軟體 LIBRA、自動檢測・缺陷分類軟體 LM Inspect,以及全自動搬送的 W 系列。

主要規格

觀察方式白光/雷射共軛焦顯微鏡
特點6 波長選擇・微分干涉・白光干涉・反射光譜膜厚量測
主要用途半導體材料・元件・MEMS 的觀察與形狀量測

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

將 6 種觀察・量測功能整合於1台
15Hz 高速影格率
白光干涉・相位移干涉・反射光譜膜厚
自動量測・自動缺陷分類軟體、全自動搬送

主要用途

  • 半導體・電子零件的表面形狀觀察
  • 段差・粗糙度・薄膜的膜厚量測

製造商與在台據點

在台據點
  • Lasertec Taiwan(新竹縣竹北市):2010 年成立,負責銷售與技術支援

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資料來源

  1. Lasertec 官方產品頁面:OPTELICS HYBRID+