ACTIS A200HiT 系列的特點與規格

ACTIS A200HiT 系列是 Lasertec 的光化（actinic）EUV 圖案光罩缺陷檢測設備，是 2025年10月發表、面向晶圓廠的 ACTIS 高產能機型。

能高速、高靈敏度捕捉 EUV 光罩上的可轉印缺陷，檢測速度達到 ACTIS A150 的 3 倍。

可檢出 EUV 光罩在晶圓廠使用期間產生的可轉印缺陷。用於晶圓廠對 EUV 光罩的進料檢測與定期品質確認檢測。