ACTIS A150 是 Lasertec 的光化（actinic）EUV 圖案光罩缺陷檢測設備，以全球首台 EUV 圖案光罩缺陷檢測設備之姿於 2019年9月發表。
以波長 13.5nm 的 EUV 光源，使缺陷檢出靈敏度較以往的 DUV 光源大幅提升。由於使用與晶圓曝光機相同波長的光進行檢測（光化檢測），可高靈敏度檢出曝光時會被轉印的缺陷。也能檢測附光罩保護膜的 EUV 光罩。
曾獲日刊工業新聞社 2019年十大新產品獎「日本力獎」，以及 Semiconductor of the Year 2020 半導體製造設備類大獎。用於 EUV 光罩製程，以及晶圓廠的進料・定期檢測。