ACTIS A300 系列是 Lasertec 的光化（actinic）EUV 圖案光罩缺陷檢測設備，於 2023年11月發表。用於檢出 High-NA 微影中會被轉印的缺陷，也支援附光罩保護膜的光罩。
可同時支援 High-NA 微影用 EUV 光罩，以及現行 NA 微影用 EUV 光罩的缺陷檢測。
採用高效率的光學設計與「URASHIMA」光源，實現高生產力。用於 EUV 光罩製程中的缺陷檢測，以及晶圓廠對 EUV 光罩的進料檢測與定期品質確認檢測。
ACTIS A300 系列的特點與規格
Lasertec・光罩檢測設備
檢出 High-NA 微影用 EUV 光罩可轉印缺陷的光化 EUV 圖案光罩缺陷檢測設備。也支援附光罩保護膜的光罩。
產品概要
主要規格
| 方式 | 光化檢測（EUV 光・URASHIMA 光源） |
|---|---|
| 對象 | High-NA 用・現行 NA 用 EUV 光罩（支援附光罩保護膜） |
| 發表 | 2023年11月 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
支援 High-NA 用 EUV 光罩
支援附光罩保護膜的光罩
URASHIMA 光源
主要用途
- EUV 光罩製造的缺陷檢測
- 晶圓廠的 EUV 光罩進料・定期檢測
製造商與在台據點
在台據點
- Lasertec Taiwan（新竹縣竹北市）：2010 年成立，負責銷售與技術支援