BASIC 系列是 Lasertec 的 EUV 光罩背面檢測・清洗設備，於 2013年2月發表，並獲得 Semiconductor of the Year 2013 半導體製造設備類大獎。
將 EUV 光罩背面的異物檢出、會影響 EUV 曝光之異物的高度量測，以及該異物的清洗（去除）整合於 1 台設備。
採用無發塵風險的 Dual Pod 搬運與不損傷圖案的掃描方式，實現可用於 EUV 量產的檢測時間。另一特色是與 OHT 連動的全自動檢測，以及將電源・控制系統內建於本體的一體化設計所帶來的小型化。