NSR-S322F 是尼康的 ArF（乾式）掃描式曝光機。搭載在浸潤式設備上已有實績的 Streamlign Platform，進一步提高疊對精度與生產力，滿足產線對高精度化與穩定量產的需求。
Streamlign Platform 是自 2008 年起被尼康曝光機採用的平台。Bird's Eye Control 以高精度編碼器從正上方直接量測載台上的光柵尺，並與干涉儀組合成混合式量測，精密控制載台。光罩載台也使用二維編碼器，減少空氣擾動的影響。
Stream Alignment 以涵蓋晶圓直徑的直線 AF 一次完成晶圓表面映射，並將 FIA（Field Image Alignment）增為 5 眼以增加對準量測點。Modular2 Structure 將設備以單元為單位模組化，縮短裝機期間並提高維護性。解析度 65nm 以下，MMO 5nm 以下。