Firefly G5的特點與規格

Firefly G5 是 Onto Innovation 針對先進 IC 載板與面板級封裝的自動檢測・3D 量測設備。面向 HPC、AI、雲端、機器學習等嚴苛用途，具備高解析度與高生產力。

為 Firefly 系列的最新平台，具備多種影像擷取模式，包括可找出金屬上殘留物與有機層上金屬缺陷的專利 Clearfind 技術。

提高產能與靈敏度，並以新型高速 IR 影像擷取鎖定埋入式缺陷。將高靈敏度檢測、2D／3D 量測與機台上的彩色影像擷取整合於 1 個平台。