DR-8000（自動線幅測定装置）

高解像度 UV 顕微鏡でフォトマスクの線幅（CD）をナノオーダーの繰り返し精度で測る装置。透過率・位相シフト量も測れる。

DR-8000とは

DR-8000 は、SCREEN のフォトマスクの品質管理用の自動線幅測定装置です。高解像度の UV 顕微鏡を搭載し、微細パターンの線幅（CD）をナノオーダーの高い繰り返し精度で測ります。フォトマスク業界の標準設備として多くの実績があります。

CD 測定専用の UV 対物レンズと均質な UV 透過照明、エッジ決定アルゴリズム、独自のフォーカスシステムで、孤立線、L&S、ホール・ドット、レジストパターンなどを正確に測ります。

露光波長で NA と照明 σ を制御した空中像の観察、独自のダブルスリット法による位相シフト量の測定、繰り返し精度 0.1% 以下の透過率測定にも対応します。欠陥検査装置の座標をもとにした高解像度レビューや、ペリクル付きマスクの測定もできます。4〜9 インチの半導体用マスクと、G6〜G10 の大型パネル用マスクに対応します。

主な特長

•ナノオーダーの CD 繰り返し精度
•空中像・位相シフト量・透過率を測定
•ペリクル付きマスクに対応

主な仕様

方式	高解像度 UV 顕微鏡
測定項目	CD・空中像・透過率（繰り返し精度 0.1% 以下）・位相シフト量
対象	4〜9 インチマスク・大型 FPD マスク（G6〜G10）

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	ホロン電子ビームフォトマスクパターン寸法測定装置	アドバンテストMASK MVM-SEM® E3650	アドバンテストMASK MVM-SEM® E3640	アドバンテストMASK CD-SEM E3660	SCREENホールディングスDR-8000（自動線幅測定装置）	レーザーテックMPM193 シリーズ	レーザーテックMPM248
対象	—	—	フォトマスク・EUV マスク・NIL テンプレート	2nm 未満のノードのフォトマスク・NIL マスターテンプレート	4〜9 インチマスク・大型 FPD マスク（G6〜G10）	—	—
測定方式	電子ビーム（マスク用 CD-SEM）	マスク用 CD-SEM（多次元観察・測長）	—	—	—	—	—
関連機種	LEXa シリーズ（フォトマスク欠陥レビュー分析）	E3660（2nm 以降向け・2025年）	—	—	—	—	—
主要用途	フォトマスクの線幅測定	マスクパターン寸法・輪郭の計測	—	—	—	—	—
機能	—	—	シミュレーション露光・EDA 連携・リアルタイム 3D 観察	広視野測定・DBM・曲線パターン測定	—	—	—
測定波長	—	—	—	—	—	193 nm（ArF）	248 nm（KrF）

1機種だけが掲載している項目（9件）

対象マスク	—	先端フォトマスク・EUV マスク・NIL テンプレート	—	—	—	—	—
対応ノード	—	—	1X nm	—	—	—	—
測定精度	—	—	—	E3650 比 20% 以上向上	—	—	—
方式	—	—	—	—	高解像度 UV 顕微鏡	—	—
測定項目	—	—	—	—	CD・空中像・透過率（繰り返し精度 0.1% 以下）・位相シフト量	—	—
再現性（MPM193EX）	—	—	—	—	—	位相差 0.2°・透過率 0.04%（3σ）	—
ラインアップ	—	—	—	—	—	MPM193Ⅱ（ランプ光源）・MPM193EX（レーザー光源）	—
再現性	—	—	—	—	—	—	位相差 0.5°・透過率 0.2%（3σ）
基板	—	—	—	—	—	—	6025